半導體晶圓槳葉干燥機

技術領域

[0001] 本實用新型涉及干燥機技術領域，具體為一種槳葉干燥機。

背景技術

[0002] 槳葉干燥機是一種在設備內(nèi)部設置攪拌槳，使?jié)裎锪显跇~的攪動下，與熱載體以及熱表面充分接觸，從而達到干燥目的的低速攪拌干燥器，結構形式一般為臥式，雙軸或四軸。槳葉式干燥器分為熱風式和傳導式。

[0003] 現(xiàn)在對干燥的效率和效果的要求越來越高，傳統(tǒng)直接進行熱風的干燥方式已經(jīng)不能滿足需求，尤其是在一些特殊物質(zhì)的干燥上，例如半導體晶圓的干燥。實用新型內(nèi)容

[0004] 針對現(xiàn)有技術的不足，本實用新型提供了一種干燥效果好的槳葉干燥機。

[0005] 為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種槳葉干燥機，包括第一承載臂、第二承載臂、干燥罐、水箱以及接水箱，所述水箱安裝在干燥罐的頂部，所述接水箱安裝在干燥罐的底部，所述水箱的頂部設有注水口，所述注水口上設有密封帽，所述干燥罐的前側(cè)設有第一密封蓋，所述第一密封蓋與干燥罐鉸接，所述干燥罐內(nèi)設有殺菌裝置、轉(zhuǎn)動軸以及噴淋頭，所述殺菌裝置為紫外線光照燈，所述殺菌裝置安裝在干燥罐的內(nèi)腔頂部以及內(nèi)腔的兩端側(cè)壁上，所述噴淋頭設有多個，且安裝在干燥罐內(nèi)腔的頂部，所述噴淋頭通過導水管與水箱連通，所述轉(zhuǎn)動軸通過軸承安裝在干燥罐內(nèi)腔的兩端，所述第一承載臂以及第二承載臂內(nèi)均設有安裝槽，所述第二承載臂的安裝槽內(nèi)安裝有驅(qū)動電機，所述第二承載臂上設有固定架，所述固定架上安裝有第一減速電機，所述驅(qū)動電機通過傳動齒輪與第一減速電機連接，所述轉(zhuǎn)動軸貫穿干燥罐與第一減速電機連接，所述轉(zhuǎn)動軸上設有安裝架以及槳葉，所述干燥罐上設有加熱器以及排氣閥，所述排氣閥內(nèi)設有抽風機以及過濾區(qū)，所述過濾區(qū)內(nèi)設有過濾裝置，所述干燥罐通過排水管與接水箱連通，所述導水管以及排水管上均設有電磁閥門，所述水箱上設有排水口，所述排水口上設有密封端蓋。

[0006] 進一步的，本實用新型改進有，所述第一承載臂的安裝槽內(nèi)安裝有轉(zhuǎn)動電機以及第二減速電機，所述轉(zhuǎn)動電機通過傳動齒輪與第二減速電機連接，所述第二減速電機上設有傳動軸，所述傳動軸與干燥罐連接。

[0007] 進一步的，本實用新型改進有，所述水箱、干燥罐以及接水箱采用鋁鎂合金材質(zhì)。

[0008] 進一步的，本實用新型改進有，所述密封端蓋通過螺紋桿插入排水口內(nèi)，所述密封端蓋的內(nèi)側(cè)設有密封墊。

[0009] 進一步的，本實用新型改進有，所述水箱以及接水箱的前側(cè)設有清理口，所述清理口為矩形結構，所述清理口上設有第二密封蓋，所述第一密封蓋以及第二密封蓋的內(nèi)側(cè)設有密封邊，所述密封邊上設有密封墊。

[0010] 進一步的，本實用新型改進有，所述干燥罐的殼體上設有導熱層，所述加熱器上設有儲水腔，儲水腔上設有導水管與導熱層連通，所述儲水腔上設有注水孔。

[0011] 進一步，本實用新型改進有，所述第一密封蓋以及第二密封蓋的底部設有限位鎖，所述限位鎖包括旋鈕、彈簧、彈簧架、鎖桿以及拉繩，所述鎖桿與彈簧的一端焊接，所述彈簧的另一端與彈簧架焊接，所述彈簧架上設有通孔，所述旋鈕上設有線軸，所述拉繩的一端與線軸纏繞，另一端與穿過通孔與鎖桿連接，所述干燥罐、水箱以及接水箱上設有鎖孔與鎖桿連接。

[0012] 進一步的，本實用新型改進有，所述過濾裝置包括過濾網(wǎng)以及碳纖維顆粒。

[0013] 與現(xiàn)有技術相比，本實用新型提供了一種槳葉干燥機，具備以下有益效果：

[0014] 本實用新型通過噴淋頭，噴淋去離子水在待干燥物品的表面進行清洗，同時紫外線光照燈對待干燥物品進行消菌殺毒，在驅(qū)動電機的驅(qū)動下，轉(zhuǎn)動軸帶動安裝架轉(zhuǎn)動，從而帶動待干燥物品轉(zhuǎn)動，提高清洗面以及光照明，從而提高對待干燥物品的清洗以及滅菌效果，當干燥罐內(nèi)的去離子水積攢到一定容量時，在槳葉的帶動下攪拌去離子水，從而使去離子水與待干燥物品沖刷清洗，進一步提高清洗效果，待干燥物品清洗干凈后表面無殘留物，相對可增進較佳的干燥效果。

附圖說明